<listing id="b3zbb"></listing>
<listing id="b3zbb"></listing>
<listing id="b3zbb"><var id="b3zbb"><i id="b3zbb"></i></var></listing>
<listing id="b3zbb"><var id="b3zbb"><i id="b3zbb"></i></var></listing>
<progress id="b3zbb"><ins id="b3zbb"></ins></progress>
<listing id="b3zbb"><var id="b3zbb"><dl id="b3zbb"></dl></var></listing>
<menuitem id="b3zbb"></menuitem><listing id="b3zbb"></listing>
<progress id="b3zbb"><var id="b3zbb"></var></progress>

具有多年生产气氛炉,气氛管式炉,真空气氛炉,真空气氛升降炉,真空气淬炉厂家-洛阳西格马高温电炉旗下网站!

您的位置:首页- 石墨加热炉-

大型立式化学气相沉积(CVD)炉

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电阻炉名称:大型立式化学气相沉积(CVD)炉
  • 电阻炉类型:石墨加热炉
  • 电阻炉品牌:SGM
  • 电阻炉规格:
  • 电阻炉温度:1500℃
  • 咨询热线:400-600-3293

大型CVD炉为大型立式化学气相沉积炉。大型CVD炉装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好。能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小。

设备用途:

大型CVD炉用做石墨或碳碳表面的碳化硅涂层、碳碳复合涂层。真空气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料, 也可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理,或以三氯甲硅烷(MTS)为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。

用途广泛?如:

碳碳复合涂层:光伏晶体炉的热场材料

石墨涂层:LED蓝宝石衬底MOCVD的石墨托盘

设备特点:

1、立式结构,炉壳用耐腐蚀材料制成。

2、独特的内罩进排气结构,热场温度均匀性好。

3、气氛控制精确,真空系统配有过滤器,可选配尾气处理系统。

4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。

5、配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。

1500℃CVD常规规格主要技术参数:

No. 型号

工作区尺

寸(?XH)mm

设计温度

(℃)

真空度

(Pa)

压升率

(Pa/h)

温度均匀性

(℃)

功率

(KW)

1 CVD3050-15 300X500 1500 1-100 0.67 ±10 60
2 CVD6080-15 600X800 1500 1-100 0.67 ±10 145
3 CVD80100-15 800X1000 1500 1-100 0.67 ±15 220
4 CVD100150-15 1000X1500 1500 1-100 0.67 ±20 275
5 CVD150200-15 1500X2000 1500 1-100 0.67 ±20 550

炉膛尺寸可按要求定做

1500℃CVD常规规格主要技术参数:

参数
型号
有效温区 设计温度 极限压力 压升率 加热功率 均温性 控温精度
单位 mm(Φ×H) Pa Pa/h KW
CVD3570-16 350×700 1600 7×10-1 0.67 100 ≤±7.5 ≤±1
CVD5580-16 550×800 1600 7×10-1 0.67 160 ≤±7.5 ≤±1
CVD70100-16 700×1000 1600 7×10-1 0.67 250 ≤±10 ≤±1
CVD90150-16 900×1500 1600 7×10-1 0.67 350 ≤±10 ≤±1
CVD120150-16 1200×1500 1600 7×10-1 0.67 500 ≤±10 ≤±1

报价

咨询:大型立式化学气相沉积(CVD)炉

版权所有 洛阳西格马高温电炉  备案号: 豫备 保留所有权利.

返回顶部

QQ在线客服
400免费热线:
400-600-3293
咨询热线:
0379-65112853
0379-65112869
天天彩票