大型立式化学气相沉积(CVD)炉
- 电炉类型:高温电炉
- 电阻炉名称:大型立式化学气相沉积(CVD)炉
- 电阻炉类型:石墨加热炉
- 电阻炉品牌:SGM
- 电阻炉规格:
- 电阻炉温度:1500℃
- 咨询热线:400-600-3293
大型CVD炉为大型立式化学气相沉积炉。大型CVD炉装料方式有上装料、底装料、卧式三种装料方式。多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好。能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小。
大型CVD炉用做石墨或碳碳表面的碳化硅涂层、碳碳复合涂层。真空气相沉积炉适用于化学气相沉积法制备碳-碳复合材料, 也可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理,或以三氯甲硅烷(MTS)为气源的材材料料表面抗氧化涂层、基体改性等。
碳碳复合涂层:光伏晶体炉的热场材料
石墨涂层:LED蓝宝石衬底MOCVD的石墨托盘
1、立式结构,炉壳用耐腐蚀材料制成。
2、独特的内罩进排气结构,热场温度均匀性好。
3、气氛控制精确,真空系统配有过滤器,可选配尾气处理系统。
4、主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。
5、配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。
No. | 型号 |
工作区尺 寸(?XH)mm |
设计温度 (℃) |
真空度 (Pa) |
压升率 (Pa/h) |
温度均匀性 (℃) |
功率 (KW) |
1 | CVD3050-15 | 300X500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 60 |
2 | CVD6080-15 | 600X800 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 145 |
3 | CVD80100-15 | 800X1000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±15 | 220 |
4 | CVD100150-15 | 1000X1500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 275 |
5 | CVD150200-15 | 1500X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 550 |
炉膛尺寸可按要求定做
参数 型号 |
有效温区 | 设计温度 | 极限压力 | 压升率 | 加热功率 | 均温性 | 控温精度 |
单位 | mm(Φ×H) | ℃ | Pa | Pa/h | KW | ℃ | ℃ |
CVD3570-16 | 350×700 | 1600 | 7×10-1 | 0.67 | 100 | ≤±7.5 | ≤±1 |
CVD5580-16 | 550×800 | 1600 | 7×10-1 | 0.67 | 160 | ≤±7.5 | ≤±1 |
CVD70100-16 | 700×1000 | 1600 | 7×10-1 | 0.67 | 250 | ≤±10 | ≤±1 |
CVD90150-16 | 900×1500 | 1600 | 7×10-1 | 0.67 | 350 | ≤±10 | ≤±1 |
CVD120150-16 | 1200×1500 | 1600 | 7×10-1 | 0.67 | 500 | ≤±10 | ≤±1 |
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