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小型CVD系统
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SGMTF60-12II-4Z 实验室用小型CVD系统

  • 电炉类型:高温电炉
  • 电阻炉名称:SGMTF60-12II-4Z 实验室用小型CVD系统
  • 电阻炉类型:管式炉
  • 电阻炉品牌:SGM
  • 电阻炉规格:SGMTF60-12II-4Z
  • 电阻炉温度:1200℃
  • 咨询热线:400-600-3293

SGMTF60-12II-4Z实验室用小型CVD系统包括SGMTF60-12II双温区管式炉、4路质子供气系统和真空系统、尾气洗气装置等。SGMTF60-12II双温区管式炉采用双层壳体结构,并带有风冷系统,可有效降低壳体表面温度。开门断电,提高实验安全性。SGMTF60-12II双温区管式炉为实验室用小型双温区管式炉,加热温度可达 1200 ℃,并可通过调节两个温区的控温程序使炉管内温场形成一温度梯度。两个温区分别由两个独立的温控系统来控制,而且都为 PID30段程序化控温。此管式炉可以用 CVD法来生长纳米材料和制备各种薄膜。

SGMTF60-12II双温区管式炉技术参数:

电炉名称:1200℃双温区管式炉

电炉型号:SGMTF60-12II

设计温度:1200℃

使用温度: 1100 ℃(1200 ℃<1 h)

测温元件: K型热偶
建议升温速率: ≤20 ℃/min
高纯石英管尺寸:(60 O.D×55 I.D)*900MM (可选)
加热区长度: 400 mm(双温区 200mm+200 mm)
加热元件: 掺钼铁铬铝
密封法兰: 采用一对 SS304不锈钢真空法兰与高温硅胶密封圈密封,两个针阀分别安在两个法兰上,一个真空压力表安在一
个侧法兰上。
温控系统: YD518P型温度控制器,PID自动控温系统、智能化 30段可编程控制、两个温区分别有两个独立的温控系统控制,默认 DB9 PC通信连接端口。

混气系统

气体系统(可选购)

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

进气接口数量

2、3、4(多路可选)

流量范围

20-200/60-600l/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统

低真空系统(可选购)

真空泵型号

SGM-1.5C

SGM-3C

SGM-4C

抽气速率

1L/s

3L/s

4L/s

进排气口尺寸

Φ8mm宝塔接头

Φ8mm宝塔接头

KF16/25

极限压力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC220V

高温真空系统:


分子泵高真空系统

(可选购)

分子泵系统型号

SGM-103(A)

SGM-103(B)

SGM-103(C)

抽气速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空测量计

复合真空计

极限压力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC?220V

AC 220V

AC 380V

小型1400度CVD系统


报价

咨询:SGMTF60-12II-4Z 实验室用小型CVD系统

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